• 型號：X-ray photoelectron spectrometer, XPS/ESCA
• 編號：機台編號:M2
• 設置地點：燃料電池中心
• 設備功能：
• 所屬實驗室：

重要規格：

1.以非破壞性的方式對固態樣品(導體及非導體)表面元素及化態進行分析
2.以破壞性的方式對固態樣品(導體及非導體)進行縱深分析
3.數據比較（能譜解析疊圖或相減等比較）、縱深分佈、原子濃度計算、多層薄膜厚度計算、峰值標定和辨識、元素分佈成像等

聯絡資訊：

實驗室聯絡人：趙珍翌
電話：03-4638800 分機：3088
E-mail：jychao@saturn.yzu.edu.tw
預約委測網址: https://u.yzu.edu.tw/QqCgfD5br